2015/6/22

不純物、オイルミスト完全除去でクリーンルーム設置装置にも対応

問題点

半導体装置製造メーカーですが、納入の装置に油分が入り問題になっていました。
圧縮空気の品質が疑われたが検証方法が無くお困りでした。

クリーンルーム内に設置の装置の為、油分は絶対だめ
クリーンルーム内に設置の装置の為、油分は絶対だめ

原因解明

日・米特許取得技術の圧縮空気測定技術による検証を実施。
大手エア一機器メーカーS社製エアーフィルター(公証0.01ミクロン除去)が設置してありましたが、0.3ミクロン粒子の流出を確認。(各所3〜5個/1リットル)
コンプレッサーエアー中に油煙が混入。

改善

製造ラインに3in1マルチドライフィルター T-105A-1000 40台を設置。
あらゆる不純物の除去を行う。

効果

工場末端のエアー取り出し口40カ所全てにおいて、不純物、オイルミスト完全除去に成功。
納入装置のトラブルがゼロになり、安心して製造が行なえるシステムを構築頂きました。

設置商品

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お問い合わせ

〒444-3595
愛知県岡崎市池金町字金山76-4
TEL:0564-48-2411
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